เครื่องทำความร้อนแบบตลับเหล่านี้ได้รับการออกแบบทางวิศวกรรมมาโดยเฉพาะสำหรับใช้ในอุปกรณ์แปรรูปแผ่นเวเฟอร์ ซึ่งต้องทำงานอย่างต่อเนื่องที่อุณหภูมิสูงถึง 600 องศา ในสภาพแวดล้อมห้องปลอดเชื้อ ลูกค้าชาวญี่ปุ่น ซึ่งเป็นผู้เล่นหลักในอุตสาหกรรมอุปกรณ์การผลิตเซมิคอนดักเตอร์ ต้องการเครื่องทำความร้อนที่มีเสถียรภาพทางความร้อนเป็นพิเศษและคุณลักษณะการปล่อยก๊าซที่ต่ำมาก เพื่อรักษาสภาวะที่สะอาดเป็นพิเศษ-ซึ่งจำเป็นสำหรับการผลิตชิป ทีมเทคนิคของเราได้พัฒนาการออกแบบที่กำหนดเองโดยใช้วัสดุปลอกสแตนเลส 310S ซึ่งได้รับการเลือกใช้เนื่องจากมีความต้านทานต่อออกซิเดชันที่อุณหภูมิสูง-ที่เหนือกว่า และเกรดฉนวนแมกนีเซียมออกไซด์ที่ปล่อยแก๊สออกต่ำ-โดยเฉพาะ
การผลิตเครื่องทำความร้อนที่อุณหภูมิสูง-เหล่านี้เกี่ยวข้องกับกระบวนการพิเศษหลายประการ ลวดต้านทานทำจากอะลูมิเนียมอัลลอยด์-เหล็กที่มีความบริสุทธิ์สูง-โครเมียม- พันด้วยการควบคุมระยะพิตช์ที่แม่นยำเพื่อให้แน่ใจว่าจะสร้างความร้อนสม่ำเสมอตลอดความยาวที่ให้ความร้อนทั้งหมด ชุดประกอบแผลถูกสอดเข้าไปในท่อสแตนเลส 310S ซึ่งผ่านกระบวนการขัดเงาภายในแบบพิเศษเพื่อขจัดสิ่งปนเปื้อนบนพื้นผิวที่อาจส่งผลให้เกิดก๊าซรั่วไหล กระบวนการเติม MgO เกิดขึ้นในสภาพแวดล้อมที่มีความชื้นที่มีการควบคุมเพื่อป้องกันการดูดซึมความชื้น ซึ่งอาจนำไปสู่ก๊าซไหลออกระหว่างการทำงานที่อุณหภูมิสูง- หลังจากเติมแล้ว ท่อจะถูกพันเพื่อให้ได้ความหนาแน่นของการบดอัดที่ต้องการ จากนั้นนำไปผ่านกระบวนการอบอ่อนที่อุณหภูมิสูง-ในเตาสุญญากาศเพื่อขจัดความชื้นที่ตกค้างและทำให้โครงสร้างภายในมีความเสถียร
